1

測量範圍Measuring range

X≥500mm,Y≥600mm，Z≥500mm

2

空間測量示值誤差Measuring Error

E≤2.4+L/300μm

3

探測誤差Probe Error

R≤2.4μm

4

解析度Resolution

0.5μm

5

最大運動速度：Maximal Moving Speed

520 mm/s

6

最大承受重量Maximum Load

500kg

7

儀器重量Machine Weight

1200kg

8

外型尺寸Overall Size

1066mm×1438mm×2465mm

9

環境要求Environmental Parameters

Temperature range : 20±2℃，0.5℃/h

10

氣源壓力Air Supply Pressure

0.6MPa∼0.8Mpa, 350L/min(0.45MPa)

11

濕度範圍Humidity

45%-65%

12

電源Voltage

220V±10%, 50Hz

13

功率Power

1200 Watt

14

地面振動(頻率範圍)：Floor Vibration (Frequency Range)

0∼6Hz, 6∼50Hz,＞50Hz

15

振幅Amplitude

7.6μm, 2.5μm, 7.6μm